1.チャンバー内寸法　φ５４０×４５０ｍｍ　（処理最大径　φ５２０ｍｍ）
2.排気装置　４”ＴＭＰ＋ＭＢ＋ＲＰ　（ＭＢは必要ないかも）
3.目標真空度　５×１０^−４ｐａ 　（ＴＭＰの能力はもっと高いです）
4.プラズマクリーニング機能付き
5.基材加温ヒータ
6.基板回転機構
7.蒸着原シャッター機構

1.フランジ類の製作
2.チャンバー補強リブの製作
3.小物フランジの溶接組み立て（溶接の練習を兼ね る）
4.チャンバーの溶接組み立て

5.ＲＰでの荒引きテスト（大雑 把な気密テスト）
6.ＴＭＰの取り付け
7.ＴＭＰコントローラの製作（？？コントローラが無 いので、この時点まで手に入らない場合は自作となる？？）
8.排気系の配管
9.５×１０^−４ｐａレ ベルの排気、気密テスト
10.蒸着用ヒータ（蒸着原）の製作
11.シャッターの製作（回転導入の製作含む）
12.鏡ホルダの製作
13.鏡回転機構の製作（回転導入の製作含む）
14.プラズマ発生用電極、電源の製作（ここら辺、まだ良くわからない...）

	これが、現在の構想図です。（書きか けですが...） まだ、何が必要不要がはっきりしていませんが、ざっとこの程度の大きさと機器の配置を考えています。 とりあえす、サービスポートは多めに付けておこうと考えています。
	これがＴＭＰです。（やっとこ手に 入った...） ＥＤＷＡＲＤＳ製です、新品はとても高価なものです。 ＲＰ（油回転ポンプ）で排気した後に、起動します。 希薄空気を（気体分子の領域）を叩き出すようにして排気するらしいです。 この、タービンが６００００ｒｐｍで回転します。 これ以外には ＲＰ：油回転ポンプ ＭＢ：メカニカルブースターポンプ（ルーツポンプ） Ｂ−Ａゲージ：ワイドレンジの新品です！！ ....まだまだ、ゴールは遠い。
	これは、チャンバーの容器になる寸胴鍋です。 中古なんですが、チャンバーにするので程度の良いものをさがしました。 また、同じ径でも肉厚が薄いものもあるので、現物を確認しないとわかりません。今回は、５４ｃｍのもので肉厚は ５ｍｍ程度です。これではとても真空には耐えられないので、外側にリブを溶接して補強します。 丸い円盤は、チャンバーのフランジ用の材料です。
	サービスポートの材料です、旧JISの１００サイズなのでフランジ外径が１８５ｍｍとなります ので、材料は１９０角にしました。取り出しの配管部分は管径１１４ｍｍなのですが、アルミの場合はインチサイズでは ないので近いサイズで径１１０ｍｍにしました。エルボは１１４ｍｍなんですね。
	まずは、 フランジ材料の中央に材料クランプ用の穴を明けます。
	周囲をフライスで切り落とし、円盤にします。 サーキュラテーブルの中心にM12スタッドボルトを立ててクランプで固定します。当然、サーキュラまで削らないよう に敷き板を敷いてあります。
	円 盤にしたフランジ材料です。外径は旋盤で仕上げますので、やや大きめ(＋2mm程度）に加工してあります。
	旋 盤で、内径を加工します、まだ仕上げではないのでやや小さめ（-2mm程度）に加工しました。
	荒削りが完了したフランジ材料です。 この後、外形を仕上げてから、内径を仕上げます。 内径はフランジ厚みの半分まで管がはまりますので段付きとなります。

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