2016/5/2 プラネタリー機構に鏡ホルダーのアダプタ付け金具？を製作し組みつけたところです。 五月連休中に一気に進める予定でしたが、購入品の入着が遅れており、製作作業が停滞です････。 そこで、SiO2の蒸着テストをしてみることにしました。 以前のテストは、アルミの蒸着で仮のフィラメントで実施しましたが、今回は本番環境でテストです。 蒸着電源は未完成なので、インバータ整流器より供給します。 まずSiO2は、おおよそ融点１５００℃、沸点　２２３０℃だそうです。 アルミがおおよそ融点６６０℃、沸点　２５２０℃なので、沸点では大差ななそうです。 ただし、SiO2は細かい粒なのでフィラメントが使えずボートを使います。 ボートの材質もタンタルが適しているそうなので、それを調達してあります。 今回は、このタンタルボートでSiO2の蒸着テストをします。
	蒸着シャッターでボート上部を遮っ て、いつも通り本引き。 E-3Pa台に入ったのでボートに通電、２０A･･･３０A･･･４０A（赤熱）･･･５０A･･･６０Aと徐々に 熱を加えていきます。 なかなか溶けません･･･７０A･･･８０A溶けてきたかな？ もちょっと電流を上げてみるか･･･切れた･･･ ボートが焼き切れました････１本１，６８０円 大気解放して、様子を確認。 ボート上のSiO2は溶けているようです。 アルミみたいには流れないようで、昇華みたいなイメージでしょうか？
	蒸着シャッターの裏側を確認。 同心円上の虹色･･･明らかに、何か飛んでる、SiO2かな？ 一応、テスターで導通核にすると同心円内は導通なし。 絶縁物がコーティングされているようです、たぶんSiO2でしょう。 でも、虹色ですね。 膜厚制御が難しそう･････ でも、なんでまん丸なの？　切れる寸前にフラッシュしたのかな？ 懲りずに、再度挑戦しましたが、切れました。 ９０Aキープしていたらぷっつり。 SiO2が蒸発しきると温度が上がって切れちゃうのでしょうか･･･ タンタルボートも反応して薄くなっているようですが･･･
	昨日に引き続き、今度はアルミ蒸着テストです。 アルミ蒸着は、ガラスとの密着性が得られるか、またその条件を確認する目的で実施します。　アルミの蒸着にはタングステ ンフィラメントを使って、アルミ線を引っ掛ける方法で行います。 タングステンフィラメントは＠８１０円の一回使用となるので、こちらも無駄打ちできません･･･ 初回条件 １．前処理　アルコールで拭き上げ ２．５Pa前後で、プラズマ２００Wで３０分（クリーニング） ３．５E-3Pa前後まで本引きして、蒸着開始　電流３０Aで溶け始め 　　馴染んだら４０Aで飛ばし切る
	出 来上がり、蒸着状態は良いみたいです。
	密 着確認のセロハンピールテスト（セロテープを張って、一気に剥がしてアルミが剝がれなければOK） 結果：OKでした。 次、 １．前処理　アルコールで拭き上げ ２．５Pa前後で、プラズマ２００Wで１５分（クリーニング） ３．５E-3Pa前後まで本引きして、蒸着開始　電流３０Aで溶け始め 　　35Aでキープ飛ばし切る（４０Aだと馴染む前にポタリとアルミが落ちそうだったので、ゆっくり溶かす）
	結果：OKです。
	蒸着後のチャンバー内はこのような状況 とりあえず、密着性についてはプラズマ処理すれば問題ないようです。 テストで使った鏡は、セリウムで磨くとアルミはすぐに取れます。（まだ保護膜が付いていないので簡単） 次は、ＳｉＯ２の蒸着テストです。

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