2016/3/20 チャンバーの目処もたってきたので、この三連休でフレームの製作に取り掛かりました。 材料は３０ｍｍのＬアングル（鉄）です。 実は、２０１２年の夏に蒸着装置のフレームを制作したのですが、チャンバーの最終形が変わってしまったので、形状を 変更する必要がありました。 サンダーで不要部分を切断したり、アングルを追加したり約１日で、フレームの大まかな形状が完成しました。
	昨日に続きフレームの製作です。 今日は、各機器の配置を決めてフレームに仮固定してみました。 3次元的な配置を事前に設計ことはせずに、現物合わせで配置を考えていきます。 ターボポンプとスクロールポンプが干渉するのでターボポンプを傾けて取り付け。 スクロールポンプはＲＦ電源とも干渉するのでチャンバー側に追いやって。 そして空いたスペースにターボポンプのコントローラを設置、設置金具を溶接で固定してしまうとスクロールポンプの出 し入れができなくなるので、設置金具を取り外し式に。 ターボポンプとスクロールポンプ間の配管が狭く、手持ちの配管材料ではつなげないので、新たに手配しました。 中央のハンドルは蒸着フィラメントのシャッター操作ハンドルとなります。 後は、上側チャンバーの昇降機構を設計して問題なければ、この配置で決定します。
	ここしばらくは、上側チャンバーの昇降機構を設計製作しておりました。 上側チャンバーに鏡をセットするので、上昇させた状態でチャンバーを裏返しにできるように製作しました。 これで、鏡のセットも楽にできるはずです。
	揚げ降ろしは、油圧のパンタグラフジャッキ（車 用）を使用する予定ですが、ジャッキの使い勝手が逆で、ジャッキのレバーが奥側になってしまうので思案中です。
	２０ｃｍ までの鏡であれば３枚同時に蒸着できるようにします。 各鏡の蒸着膜厚の均一性を高めるために蒸着中の鏡を回転させる機構を製作中です。 真空チャンバー内への回転伝達は磁性流体の回転導入装置を使っています。 外部にパルスモータを取り付けて回転させます。
	チャ ンバー内のプラネタリー機構は、中心に固定のチェーンスプロケットを配置して、外部より回転される三又のアーム先端 に小スプロケットを取り付けチェーンでつなぐことで各鏡を回転させるものです。（製作途中）
	その他として、チャンバー内には４組の蒸着フィラ メントが取り付けできるようにしており、この４組のフィラメントの通電要否をオンオフするスイッチを設けます。 設計上２００Ａ程度流すのですが、なかなか良いスイッチ（コンパクトで安価）が見当たりませんでしたが、電動ボート用の バッテリー切り替えスイッチがコンパクトで価格的にも安価でした、これを４個使うのですが手元には３個残り1個は連休明 けに到着予定です。４８Ｖ定格で常時３００Ａ、瞬時１５００Ａのスペックです。 上のトランス（改造途中）は、蒸着電源用のトランスで、元は電子レンジのマグネトロン用の高圧電源トランスです。高圧側 のコイルを除去して３８ＳＱの電線を2.5ターン巻します。2.5ターン当たり約2.4Ｖでます。これを直列で約5Ｖ程 度の電源にします。蒸着電流２００Ａであれば一次側は５Ａ（ＡＣ１００）程度に収まり、蒸着フィラメントの電力調整はス ライダックで行う予定です。 あと、上側チャンバーの昇降は、ECO-WORTHYの電動 シリンダ アクチュエーター を使ってみることにしました、推力1500N、ストローク250mmのものです。 ＤＣ２４Ｖで動作しますが、ややスピードが5.7ｍｍ/秒とゆっくりです。 現在到着待ちです。

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