真空での始動は初めて･･･無事に稼働しますように･･･
ターボポンプのコントローラのスタートボタンを押します･･･
ゆっくり回転が上がっていきます･･･無事ＬＥＤ全灯
無事、ターボポンプが稼働しました。
このクリスタルイオンゲージは優れもので、これだけで大気圧から１０＾−８Ｐａまで測定ができます。出力はアナログ の０−１０Ｖ（ｌｏｇ出力）となります。
表示器がないので、テスターで代用しています。
クリスタルイオンゲージの出力と圧力の換算式はとのことです。
Ｐ＝１０＾（（Ｖ-7.75）/0.75＋２） Ｐ（Ｐａ）、Ｖ（volt)
現在の所、サーモカップルの表示は振り切ってしまうので、クリスタルイオンゲージの値で圧力を確認しています。
チャンバー本引き（ＴＭＰ＋スクロール）４０分で５．０９Ｖまで到達、この先あまり変化しません。圧力換算では ２．８Ｅ−２Ｐａでようやくー２乗Ｐａオーダに到達しました、ぎりぎり蒸着ができそうな圧力です。
ちなみに、ＴＭＰ＋スクロール単体（チャンバーなし）では３．９９Ｖまでいきます、圧力換算では９．７Ｅ−４までい くので、まだチャンバー側でリークが発生していることになります。
チャンバー込でー３乗中盤は何とか行きたいとおもうので、もう暫くリーク箇所探しは続きます。
本日は、リーク箇所探しの続きです。
作業手順は、スクロールポンプ＋ＴＭＰ＋チャンバーで構成。
ガイスラー管はスクロールポンプ側、クリスタルイオンゲージとサーモカップルはチャンバー側に取り付け、スクロールポン プの到達圧力付近で、パーツクリーナを怪しい所に吹き付けて、ガイスラー管の放電色が白くなれば漏れ箇所という作戦で実 施。
あちこっち吹き付けているうちに、放電色は白く変化したのですが、場所の絞り込みができず、いったんＴＭＰを回してチャ ンバー内を排気、再度、あちこち吹き付けしても今度は放電色に大きな変化なし。
結局パーツクリーナ新品一本使い切っても変化なし･･･なんで？
反応がなくなってしまいました。
どうやらパーツクリーナを吹き付けしている間にリーク箇所が詰まってしまったようです。周りの汚れが溶けて塞いでしまっ たのでしょうか･･･？
漏れが確認できなくなったので、ＴＭＰを作動させてみました。
前回は５．０９Ｖまでで圧力換算では2.8Ｅ−２Ｐａでした。
今回は５．０９Ｖを軽く突破して４０分後には４．６２Ｖまで到達、圧力換算では6.7Ｅ-3Ｐａでー３乗Ｐａ中盤にきま した。
目標とするオーダまで達しましたが、達した理由が、リーク穴詰まり･･･
いつ再発するかわかりませんが、詰まってしまっては場所も探せません･･･
リーク箇所については再発した時に、また調べることにして、先に進むことにします。
フランジを追加工して、ビューポートや回転導入を取りつけます。
これらの追加部品はＯリングでシールされます、溶接ではないので問題は発生しませんでした。
回転導入は２箇所です（蒸着フィラメントのシャター用と鏡面回転用です）
こちらは、側面に付けた鏡面回転用です。
回転導入は磁性流体のタイプです。
こちらは、ビューポートです。
クリスタルイオンゲージも位置を変更しました、サーモカップルはチャンバーからは外しました。
圧力変化を記録できるようにして、グラフにしてみました。
４０分間本引きして、ＴＭＰ停止しバルブ締め切りの状態での圧力変化です。
１分当たり０．１Ｐａ程の圧力変化があります。
リーク量はチャンバー容量を０．０８ｍ３とすると
1.3E-4(Ｐａ・ｍ３/sec)で中真空であれば許容できるレベル･･･
次は、電流導入端子を製作します。