今後、多目的に使えるように５端子にすることにしました。
何とか、電極の加工が完了したところです。
フランジ側にも、電極用の穴を明けました。
シートは柔らかいので、簡単に切り抜くことができました。
Ｏリングはチャンバー内側に取り付けます。
前回と同程度の３．８Ｅ−３Ｐａまで到達したので、電流導入端子からのリークは問題なさそうです。
この後は、蒸着テストに入ります。
まだ、蒸着用フィラメントは調達していないので、ＴＩＧ溶接用の純タングステン電極Φ１．２ｍｍで代用してみます。
直流電源に直接タングステン電極を取り付けて、大気中で通電したところ８５Ａ程度で明るく赤熱して酸化が始まります。
電源は２００Ａまで通電できるので大丈夫そうです。
配線用のキャプタイヤケーブルを手配しているところなので、入手次第いよいよ蒸着テストです。
本日は会社終わってからホームセンターに出向いて丸端子を購入して、電流導入端子とインバータ直流電源との接続を行 い、その勢いで蒸着テストを行ってみました。
キャプタイヤケーブル（溶接用）は柔らかいので引き回しが楽です。
チャンバーは週末に本引きしてバルブ締め切りなので２E+２Pa程度からスタートです。スクロールを回して、TMP を動作させ２０分くらいでいつもの３．８E-3Paまで到達しましたので蒸着開始です。
フィラメントはΦ１．２の純タングステン棒で、大気中のテストでは８０A程度で赤熱開始していましたので、８０Aか らスタート。
９０A程度で明るいオレンジ色に加熱してタングステンに巻き付けたアルミ線がうねりだしました。
１００A程度でアルミが溶け出して滴になり落ちそうになった時にタングステン棒を伝って横に一部流れました。
１/３程度は濡れて留まっているようなので、そのまま電流を上げていきます。
１２０Aまで上げると、相当明るいです、のぞき窓から見えるフィラメントを直視できません、眩しい・・・
そのまま、様子を見ていると、のぞき窓の１/３が蒸着されています。
ここで、フィラメントへの通電をオフ。
TMP停止させた後に、大気圧までリークさせて電流導入端子部分のフランジを外します。
実は中に百均で購入したガラスのコースターを仕込んでい ました。
コースターも蒸着されています。
これで、アルミは蒸着できることが確認できました。
ただ、ガラスもアルコールで拭き掃除したくらいでは密着度が不足しているようでティッシュでこすると、ほとんど落ち てしまいます。
最終的にはプラズマでクリーニングするれば、解決できるのではと考えています。
今回のテストで分かった問題は、電流導入端子が温かくなります。熱いという感じではなかったのですが、長時間通電で は熱くなる可能性もあり要チェックです。
（テフロンワッシャの連続使用温度は２６０℃なので大丈夫と思いますが･･･）
次は、プラズマクリーニング（イオンボンバート）に取り掛かります。