’04-6−12までの作業の報告です。
@側面のサービスポートの取り付け(溶接)が終了しました。



サービスポート用の丸管(φ100) をチャンバーに溶接します。
溶接仮付けの際に、傾かないように注意しながら作業します。



外側は、全周溶接をしないで所々溶接 します。


  


丸管の溶接が全て(側面)完了したら、フランジを溶接します。
フランジも内側から溶接です(真空容器は全て内側から溶接)。
熱容量が小さいので、この部分は溶接パワー的には楽ですが、一周グルリと溶接するので自分が回りながら溶接を行いま す。

一 個、フランジが溶接できました


側 面4箇所のフランジが全て溶接完了しました。
溶接後に熱くなったチャンバーが冷める途中で、カンカンっと数回鳴りました....クラックが出来た模様です... 内面でないことを祈ります。




フ ランジ部分の溶接部の拡大です、熱容量(溶接パワー)的に問題がない部分は、大分上達したもんだと自画自賛です。
でも、容器完成後のリークテストで数え切れない程リークが発生していたらどうやってリーク個所を探すか悩みの種で す。リーク個所が少ない事を祈ります。


ち なみに、丸パイプのチャンバー側です。
今日は、頻繁に溶接機の出力過電圧警告で作業が中断されました。
試しに、部屋をクーラで冷却?したら警告が減ったので、熱の影響のようです、またチャンバー側も冷やしながら溶接を したほうが出来栄えが良いようです。(何か、勘違いしているかも....)


'05年3月20日、久しぶりの溶接作業です。
今回の作業は、チャンバーの底部分の補強リブの溶接作業です。
相変わらず、厚板の溶接作業効率は悪く、2cm程度溶接するとヒート状態となり、溶接電源が冷えるまでお休みです。 これを延々と繰り返しやっとこ、底部の補強が完了しました。
MAX150Aの容量では、元々6mm程度の能力だから、効率が悪いのは当然ですから〜!。


で も、このチャンバーが熱容量が一番大きいので、チャンバーの蓋側は楽なはずです...たぶん。

ち なみに、今までサボっていたわけでもありません、色々と部品集めも行ってきました。
これらは、真空バルブやリークバルブ、給電端子、などなど。
廃品からの取り外しなので、不良品もあるかもしれません、テストはチャンバーが出来てから、順次行う予定です。


こ ちらは、RF電源です。
Advanced Energy
社の13.56MHzのものです。
使い方は...え〜っと。
調査中です、マニュアル(英文はインターネットから入手できました)。
プラズマを発生するには、RF電源と共にマッチングボックスと呼ばれるインピーダンス整合器が必要なようです。


昨 日に引き続き、今度はチャンバー底のサービスポートの溶接です。
2個のサービスポートの面を合わせるために、アルミ板の上にチャンバーを上向きに置いて、この状態で仮付けを行い、 本溶接を行います。

底部の溶接は、上半身を突っ込んでの作業ですが、チャンバーが中途半端に小さいので窮屈な姿勢での溶接となります。


ポー トにフランジを溶接します。
これは、外側で比較的熱容量も少ないので、問題なく溶接できます


約1年(この作業ばかりではないですが)かかって、やっとこチャンバー本体の溶接が完了しましいた。
この後は、蓋側の製作になります。

  

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