チャンバーも約１０年眠っていました から、薄っすらと埃まぎれでした･･･ 現段階では一部計画を変更して上半分のチャンバーの製作を中止して、下半分のチャンバーで構築することとしました。 チャンバーの蓋は約３０ｍｍのアルミ板を使用します。 まずは、Ｏリング溝を耐水ペーパで磨く作業です。　ここで、空気漏れがでると目標の真空度は難しくなります。
	実際使用する時には上向きで使います が、真空度が目標に到達するまでのテスト中は各フランジ部分の点検が容易にできるよう横向きにしてキャスター台車に 固定しています。 左横にあるのが、粗引き用のスクロールポンプです。 スクロールポンプの上についているＴ字型のものがガイスラー管となります。 まずは、ガイスラー管で真空到達のレベルを大まかに確認していきます。
	スクロールポンプのアップです。 ポンプの左側はネオントランスです、これでガイスラー管の両端の電極間に高圧電圧をかけて放電させます。
	現 在の真空到達度ですが１００Ｐａレベルのようです。 放電の状態によってだいたいの圧力を把握します。
	ス クロールポンプ単体ですと１０〜１Ｐａレベルに達するようなので、スクロールポンプは大丈夫のようです。 （ガイスラー管のガラス外壁が蛍光で光っています） 真空蒸着を行うためには、１０Ｅ−３Ｐａレベルが目標な ので、全然だめです。 上蓋のシールに問題があると推測しています。 チャンバー側のフランジが溶接で歪んでしまっているので、均一にＯリングが圧縮されていない状態です。 （現在は無理やり絞め込んでいますが、このシャコ万では限界です？（そういう問題ではないのですが･･･） あと、ガイスラー管でのリークチェックでは怪しいところにアルコールを吹きかけると放電色がピンクから白に変わるとあり ますが、変わんないんだよねぇ〜。 チャンバーからポンプまでの配管が仮配管で細いから伝わらない･･･んな事はないよね〜？？
	粗 引きポンプの真空到達に達していないということは、どこかで空気漏れ（リーク）しているということになりますね。 ガイスラー管を使って、漏れ箇所に洗浄スプレーを吹きかけると放電色がピンクから青白くなって圧力も低下していきま す、というところまでは確認できました。 でも、なかなか漏れ箇所が見つからないので、作戦を変更して加圧法で確認することにしました。 加圧法は、自転車のパンク探しと同じです。 容器内部を加圧して、漏れ箇所にシャボン水を塗ると蟹泡で判断できます。 大きな漏れは、音でも判断できるようです。 容器は真空容器なので内圧に耐えられるようには考えられていないので、+0.5気圧でテストしてみました。
	怪 しきところに、シャボン水を筆で塗っていくと･･･ まず、一箇所目が見つかりました、結構な勢いで吹いています。 赤〇の所です。
	ク ローズアップしてみると、クレータがありました、溶接時に解けた溶融池が冷えて固まるときに収縮して中央部に穴があ く現象です。 裏まで溶けたので冷める時に収縮してクレータになってしまいました。
	ク レータ部分を容器内側から溶接で補修します。 ･･･最近、溶接していないのですっかり下手になってしまいました･･･ とりあえす、一箇所見つけたので、真空到達度のチェックです。 今度は、圧力計も100KPaを示しました。
	ガ イスラー管の放電も管全体が発光始めました。 でも、まだまだです･･･ 次ぎの漏れ箇所を探します。 ガイスラー管と洗浄スプレーで確認するためには、排気抵抗を下げて反応がすぐに出るようにしないといけません。よっ て、エアーチューブの仮接続ではなく本接続で行くことにしました。
	本 接続のためには、中間にTMP（ターボポンプ）を挟む必要があるので、まずは、ポンプからTMPまでの真空到達度を 確認します。 ･･･と、悪いです。漏れてます･･･TMPから？？？ 洗浄スプレーをTMPの各所に吹きかけると、リークバルブでｼﾞｬｼﾞｬ漏れ状態です。 閉まっているのですが･･･ 外して見ると、Ｏﾘﾝｸﾞが付いてません･･･な〜んだ。
	ホー ムセンターで水道用のＯﾘﾝｸﾞを購入、取り付けて一件落着。 二箇所目の漏れ解決。 あと何か所、漏れがあるのだろう・・・

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